Siliziumnitrid ist Rubin in Bezug auf die technischen Eigenschaften sehr ähnlich. Dieses keramische Material ist extrem hart und äußerst verschleißfest und weist die geringste Oberflächenrauheit aller Kugelwerkstoffe auf, was es für die meisten Scanning-Anwendungen sehr geeignet macht. Siliziumnitrid lässt sich zu einer perfekten Kugel formen und die Oberfläche lässt sich extrem glatt polieren. Siliziumnitrid wird von Aluminium nicht angezogen. Aus diesem Grund eignet sich das Material optimal zum Scannen von Aluminiumflächen, da sich, im Gegensatz zu Rubin, die Aluminiumpartikel der Aluminiumoberfläche nicht an der Kugel ablagern.